1。清洗石英管的整個過程應嚴格
石英按照擴散工序相關工藝尺度進行。
2。清洗職員需要佩戴好防護眼鏡和防酸手套,然後將備用石英管放入石英管清洗機靠近裡面的槽內,管口朝向制絨間,管尾指向擴散爐所在方向。拉下防護門,將酸槽清洗時間設定為30min,按下控制面板中"酸槽啟動"按鈕。
3。將水槽內的水排空後用水槍衝刷石英管內外壁約5分鐘。衝刷時應仔細當真,不要有殘留未衝到的區域。然後把水槍拉到石英管管口,從管口向管尾方向衝刷管內壁。清洗職員戴好防護眼鏡和手套
陶瓷,將石英管從酸槽掏出,輕放入水槽。衝刷石英管內壁時不要按下"水槽啟動"按鈕,假如已經按下了應再按下"水槽結束"按鈕。2分鐘後,將石英管旋轉180°,再用同樣方式衝刷2分鐘。
4。將純水注入水槽,水位以能沒過石英管尾部的中間通氣管為准。拉下防護門,然後將水槽清洗時間設定為30min,按下"水槽啟動"按鈕。
5。重復再清洗一遍。
6。
石英管衝刷內壁。然後,參照上面的方法用水槍衝刷石英管內/外壁。此步清洗時間應不少於15min,以管內外壁無
石英舟顆粒狀磷化物殘留為清洗干淨的標志。約5min後用水槍衝刷管尾的四個小通氣管,同樣是管內壁。衝刷2分鐘後再繼承從管口方向衝刷。水槽結束後,將水槽內的水排空。
7。清洗好後將石英管放到淨化間的指定位置,下面墊上專用的泡沫。
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